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自動搬送システム搭載 垂直型高性能プラズマデスミア装置（14/28/30パネル） 真空プラズマ フルインライン連続式プラズマ洗浄装置 真空プラズマ 260mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：24～200μm） 真空プラズマ プラズマ分極装置 大気圧プラズマ ドラム式プラズマ処理装置 真空プラズマ アレイ型大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ アークジェット式大気圧プラズマ洗浄装置（シングルポイント） 大気圧プラズマ プラズマ洗浄装置 真空プラズマ 反応性イオンエッチング装置（RIE） 真空プラズマ 連続式プラズマ洗浄装置（トレイタイプ） 真空プラズマ 工業用プラズマ汚染処理装置（ポンプ後段設置） 大気圧プラズマ 回転式アークジェット大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ 垂直型高性能プラズマデスミア装置（14/28/30パネル） 真空プラズマ サイクロン型プラズマメタン分解システムモジュール 大気圧プラズマ 垂直型プラズマデスミア装置（標準型、15/28パネル） 真空プラズマ マイクロ波プラズマエッチング装置 真空プラズマ ブラシ型大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ 520mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：24～200μm） 真空プラズマ 直流トーチ式プラズマ処理装置 大気圧プラズマ ロール・トゥ・ロール式大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ 520mm ロール・トゥ・ロール式標準型プラズマデスミア装置（対応板厚：36～140μm） 真空プラズマ RF／マイクロ波ジェット式大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ ウェハ裏面ポリマー除去用プラズマ装置 大気圧プラズマ 工業用プラズマ汚染処理装置（ポンプ前段設置） 大気圧プラズマ 誘電体プラズマメタン分解システムモジュール 大気圧プラズマ 水平型プラズマデスミア装置（標準型、10パネル） 真空プラズマ 520mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：12～200μm） 真空プラズマ 垂直型連続式プラズマ洗浄装置 真空プラズマ 連続式プラズマ洗浄装置（ストリップタイプ） 真空プラズマ ウォーターフォール型大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ プラズマレジスト剥離装置（アッシャー） 真空プラズマ 連続式プラズマデスミア装置 真空プラズマ RFウォーターフォール型大気圧プラズマ洗浄装置 大気圧プラズマ