NEMS の技術沿革
NEMS の技術沿革

NEMS の開発チームは、学界および産業界における各種プラズマ関連分野のほか、材料、化工、機械工学などの領域から集結した数十名の修士・博士級の専門人材によって構成されています。
現在、当社は多数の高密度感応式高密度真空プラズマ特許、複数の常圧プラズマ特許、ならびに多くの先進産業製程に関するプラズマ特許を取得しました。

2000
  • IC/LED 分野へ展開
  • 電漿クリーニング装置
2001
  • PCB/FPC 分野へ展開
  • プラズマ除膠装置
2002
  • プラズマ穿孔装置
2003
  • LCD/OLED 分野へ展開
  • 各種常圧プラズマ洗浄装置
2005
  • 連続式プラズマクリーニング装置
2006
  • 3C/プラスチック/車灯分野へ拡大
2007
  • バイオ・医療分野へ進出
  • バイオプラズマ処理装置
2008
  • 鋳造分野へ参入
  • プラズマ表面改質装置
2009
  • 殺菌・脱臭/廃気処理応用技術の開発
2010
  • 繊維分野へ参入
  • 高耐久材料向けプラズマ装置
  • 高耐久ボール向けプラズマ処理装置
2011
  • プラズマ空気浄化装置
2012
  • ロール to ロール式プラズマ除膠装置
  • 連続式プラズマ除膠装置
2013
  • 常圧プラズマ薄膜応用へ参入
2014
  • 靴素材処理分野へ参入
2015
  • 太陽エネルギー応用技術へ参入
  • 常圧プラズマ薄膜装置
2016
  • 省エネ型プラズマ除膠装置
2017
  • 廃水処理技術
2018
  • 固形廃棄物向けプラズマ処理技術の開発
  • プラズマ極性化装置
  • 落筒式プラズマ処理装置
2019
  • プラズマ脱臭装置
2020
  • 高エネルギープラズマエッチング装置
    (反応性イオンエッチング、マイクロ波プラズマ等)
2022
  • ウェーハ再生/薄化/切断技術の発展
  • ウェーハ残渣プラズマクリーナー
2023
  • 脱炭素・水素エネルギー技術の開発
2024
  • プラズマウェーハ切断/ウェーハ薄化装置
  • プラズマアッシャー破壊解析システム
2025
  • Hybrid Bonding(ハイブリッド接合)技術の開発