產品介紹
NEMST-PL2018系列
電漿極化機
- 高密度電漿源. 極化電極性能監控。
- 可配備極化電極模組X-Y-Z 作動控制功能。
- 可配備自動上下料的對位功能。
- 可以配備加熱功能。
- 需要的話可以選配極化平台之旋轉功能。 可配備阻抗量測的功能。 具備臭氧濃度監控功能。
- 高效且均勻地極化(極化均勻度可以高達90%)。
- 可適用於 200 x 200 mm、650 x 750 mm、900 x 900 mm、1600 x 1400 mm等尺寸的基板。 適用材料：PVDF Copolymer、PZT、PVDF等。
- 屏下指紋辨識晶片相關應用。 冷卻裝置相關應用。 健康照護感應晶片相關製程。 運動保健感應晶片相關製程。 各式壓電材料，尤其是感應器、致動器，RF 微機電。