深耕電漿專利,全面守護製程應用
一、專利範疇
暉盛專利涵蓋高密度電漿模組、真空與常壓腔體設計、精密氣體流場控制、RF電場調控,以及乾式蝕刻、清洗、氧化還原與火焰電漿等前瞻應用,形成完整技術壁壘。
二、布局策略
以台灣為核心市場,並逐步拓展至美國、歐洲、日本、中國等關鍵地區;聚焦半導體先進封裝(ABF、Hybrid Bonding)、第三代半導體(SiC、GaN)、新能源與減碳應用,透過PCT國際專利佈局,保障市場進入門檻。
三、管理機制
導入 PLM 系統,建立研發成果可追溯、分級管控與保密機制,搭配專利事務所持續監控與申請,確保智慧財產之完整保存與風險防護。
四、未來方向
持續加強在高效能運算、AI晶片、ESG綠色製程與氫能應用等新興領域的專利開發,結合製程即服務模式,將專利資產轉化為市場競爭優勢與客戶價值。