致力於尖端電漿技術之開發

暉盛科技自公司成立以來，致力於尖端電漿技術之開發，多年來持續地取得各項電漿技術、設備及製程應用之專利。舉凡各式高密度電漿技術與設計(如感應耦合式 ICP 等高密度電漿)、各式大氣電漿技術與設計，暉盛均持有多項專利，專利範圍遍及半導體、印刷電路板、平面顯示器、光電、民生工業、生醫業界各種製程，為暉盛提供的專業電漿技術服務提供強大的後盾!