本公司研發團隊共計有來自學界、業界各電漿領域、材料、化工、機械等之數十名碩博士。目前暉盛已取得多項高密度感應耦合式 ICP 真空電漿設計專利、多項介屏障 DBD 常壓電漿專利及多項先進產業製程上的電漿專利。
2000
- IC/LED領域展開
- 電漿清洗機
2001
- PCB/FPC領域展開
- 電漿去膠渣機
2002
- 電漿鑽孔機
2003
- LCD/OLED領域展開
- 各式常壓電漿清洗機
2005
- 連續式電漿清洗機
2006
- 3C/塑膠/車燈領域展開
2007
- 生化/醫學領域展開
- 生醫電漿處理機
2008
- 觸控領域
- 電漿去光阻機
2009
- 殺菌除臭/廢氣處理應用發展
2010
- 紡織應用發展
- 高爾夫應用發展
- 高爾夫球電漿處理機
2011
- 電漿空氣淨化機
2012
- 捲對捲式電漿去膠渣機
- 連續式電漿去膠渣機
2013
- 常壓電漿鍍膜應用展開
2014
- 鞋處理應用發展
2015
- 太陽能應用發展
- 常壓電漿鍍膜機
2016
- 高效能電漿去膠渣機
2017
- 廢水處理技術發展
2018
- 固態廢棄物電漿處理技術發展
- 電漿極化機電漿極化機
- 滾筒式電漿處理機
2019
- 電漿減廢設備
2020
- 高效能電漿蝕刻機(反應性離子電漿蝕刻、微波電漿)
2022
- 晶圓再生/晶圓薄化/晶圓切割技術發展
- 晶背殘膠電漿清洗機
2023
- 脫碳產氫新能源技術發展
2024
- 電漿晶圓切割/電漿晶圓薄化設備
- 電漿甲烷裂解系統